透射掃描電子顯微鏡是透射電子顯微鏡的一種發(fā)展。掃描線圈迫使電子探針在薄膜試樣上掃描，與掃描電子顯微鏡不同之處在于探測器置于試樣下方，探測器接受透射電子束流或彈性散射電子束流，經(jīng)放大后，在熒光屏上顯示與常規(guī)透射電子顯微鏡相對應(yīng)的掃描透射電子顯微鏡的明場像和暗場像。
 

　　透射掃描電子顯微鏡的工作原理：
 

　　它的成像不同于一般的平行電子束TEM，EDS成像，它是利用會聚的電子束在樣品上掃描來完成的。在掃描模式下，場發(fā)射電子源發(fā)射出電子，通過在樣品前磁透鏡以及光闌把電子束會聚成原子尺度的束斑。電子束斑聚焦在試樣表面后，通過線圈控制逐點(diǎn)掃描樣品的一個區(qū)域。在每掃描一點(diǎn)的同時，樣品下面的探測器同步接收被散射的電子。對應(yīng)于每個掃描位置的探測器接收到的信號轉(zhuǎn)換成電流強(qiáng)度顯示在熒光屏或計(jì)算機(jī)顯示器上。樣品上的每一點(diǎn)與所產(chǎn)生的像點(diǎn)一一對應(yīng)。從探測器中間孔洞通過的電子可以利用明場探測器形成一般高分辨的明場像。環(huán)形探測器接受的電子形成暗場像。
 

　　透射掃描電子顯微鏡的產(chǎn)品優(yōu)勢：
 

　　1、利用掃描透射電子顯微鏡可以觀察較厚的試樣和低襯度的試樣。
 

　　2、利用掃描透射模式時物鏡的強(qiáng)激勵，可以實(shí)現(xiàn)微區(qū)衍射。
 

　　3、利用后接能量分析器的方法可以分別收集和處理彈性散射和非彈性散射電子。
 

　　4、進(jìn)行高分辨分析、成像及生物大分子分析。