球差電鏡，什么是球差？球差是像差的一種，是影響TEM分辨率的主要原因之一。由于像差(球差、像散、彗形像差和色差)的存在，無(wú)論是光學(xué)透鏡還是電磁透鏡，其透鏡系統(tǒng)都無(wú)法做到。光學(xué)透鏡中，可通過將凸透鏡和凹透鏡組合使用來(lái)減少由凸透鏡邊緣匯聚能力強(qiáng)中心匯聚能力弱所致的所有的光線(電子)無(wú)法匯聚到一個(gè)焦點(diǎn)的缺點(diǎn)，可對(duì)于電磁透鏡，我們沒有凹透鏡，球差便成了影響TEM分辨率最主要也最難解決的問題。
 

　　球差電鏡，球差是由什么產(chǎn)生的？TEM中包含多個(gè)磁透鏡：聚光鏡、物鏡、中間鏡和投影鏡等。球差是由于磁鏡的構(gòu)造不好造成的，這些磁鏡組都會(huì)產(chǎn)生球差。當(dāng)我們矯正不同的磁透鏡就有了不同種類的ACTEM。當(dāng)我們使用STEM模式時(shí)，聚光鏡會(huì)聚電子束掃描樣品成像，此時(shí)聚光鏡球差是影響分辨率的主要原因。因此，以做STEM為主的TEM，球差校正裝置會(huì)安裝在聚光鏡位置，即為AC-STEM。而當(dāng)我們使用image模式時(shí)，影響成像分辨率的主要是物鏡的球差，此種校正器安裝在物鏡位置的即為AC-TEM。當(dāng)然也有在一臺(tái)TEM上安裝兩個(gè)校正器的，就是所謂的雙球差校正TEM。
 

　　球差電鏡安裝了物鏡矯正器或者聚光鏡矯正器，消除了一些透鏡系統(tǒng)中存在的球面像差，將透射電鏡的分辨率提高到了亞埃級(jí)。它可以在兩種模式下工作，分別是“TEM模式”和“STEM模式”，在TEM下更多是觀察形貌，在STEM模式下，可以做EDS和EELS成分線掃和mapping。